工程名称：武汉华星光电技术有限公司第6 代LTPS（OXIDE）•LCD/AMOLED 显示面板生产线项目洁净包C工程
建设单位：武汉华星光电技术有限公司
工程地点：武汉东湖新技术开发区光谷智能制造产业园华星光电面板显示生产基地
工程规模及特征：一期厂房建筑面积约44万平方米，建筑物含阵列厂房、模组厂房、水池及泵房、CUB、废水处理站、特气车间、化学品车间、220kVA变电站、硅烷站、化学品库、固废回收站、资源回收站、剥离液回收站SRS、柴油罐、动火食堂、连廊管廊、门卫及岗亭等。一期宿舍建筑面积约8万平方米，建筑物含员工宿舍9栋（含3层裙楼）、活动中心/食堂1栋、管理人员宿舍2栋等。
本包为洁净包C：本包工作范围：2号建筑 模组厂房（MOD），不仅包括具有洁净级别的洁净室，还包括划入本包范围内的非洁净室（区）如更衣（换鞋）室、回风夹道等。
武汉华星光电洁净室形式示意图
上送侧回、无架空地板、温湿度控制通过MAU、DCC实现；造价低、噪音小但灵活性差
下面，以武汉华星光电洁净室检测项目，简单介绍洁净室检测过程
一、风速测试 (ULPA Filter Installation Leakage Test)
A、测试仪器：ADM-880C，精确度：±3%
B、测试步骤：
B1、每片滤网(1200mm×1200mm）下方平均分布测四点，共四笔测试数据．
B2、测试点置于滤网下方不超过１２英寸（３０mm）处量测．
B3、每点取样为16点取样位置平均后之数值
B4、每点测试时间不得少于5s。
B5、计算每片滤网量测之平均值。
C、每一片ULPA/HEPA滤网之出风面均需测试。
D、记录：记录于表格
E、验收标准：每只滤网的平均风速：
ULPA: 0.45m/s ± 20% (0.36-0.54m/s)
HEAP: 0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)
HEAP: 0.4m/s ± 20% (0.32-0.48m/s)（STK区域）
二、泄漏测试 (Airborne Particle Count Test)
A、测试仪器：
hach metone 3400（FFU使用）
FLOW RATE:1CFM PARTICLE SIZE:
0.3，0.5，1.0，3.0，5.0，10.0μm
B、测试步骤：
1、将测试探头距离滤网表面２.５-３ＣＭ左右，探头以５ＣＭ／Ｓ之速率沿着HEPA/ULPA之表面做有规律扫描。每一相邻的扫描路径须以1cm的距离相互重叠。
2、采样器扫描进行中，同时观察Particle counter之仪表显示值，当侦测到瞬间暴增有４颗以上之Particle出现时，则改以５mm/s的速度重新探测，以确定是否有泄露及泄露之具体位置。
3、 FFU 是否有泄漏是以Particle Count所侦测到之数据，经一分钟扫描不超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续泄漏之发生。
4、测试点：
每一FFU之出风表面均需测试。
尺寸为1200mm×1200mm FFU滤网 测试时间为1分。
记录于表格，需记录泄漏之正确位置。
三、洁净度测试 (Airflow Velocity Test)
A、测试仪器：精度为0.3μm的微尘粒子计数仪
B、测试步骤：
1、测试高度：地板以上1.5m处
2、测试点布置：依据ISO14644国际标准
NL=√A
NL-最少采样点（四舍五入为整数）
A-洁净室或洁净区的面积，以m2计。
采样点均匀布置于整个洁净室
3、测试时将采样头固定于三脚架上，用采样管将之与测试仪器相连接，各接缝口要密封，以防止空气泄漏．每个测试点取三次样，每次取样一分钟。
4、记录测试结果记录于表格
C、验收标准；ISO14644
四、温湿度测试(Temperature & Relative Humidity Test)
A、测试仪器：温湿度计
B、测试步骤：
1.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。室内温湿度自动控制运转24小时后开始测试。
2.测试点布置：所有洁净室区域每30m2测试一点。每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点。
3.量测高度为：(高架)地板以上1.5m。
4.将温湿度传感器置于测试点，待稳定后开始记录。
C.验收标准：
温度：23 ±2℃
湿度：55 ±5％
五、照度测试 (Light Intensity Level Test)
A、测试仪器：照度计。
B、测试步骤：
1.测试点布置：所有洁净室区域每25m2测试一 点。房间面积≤20m2，至少取两点测量点测量
2.测试条件：日光灯系统连续运转100小时，无尘室相关系统至少运转时2小时，及温湿度已达稳定。
3.测试高度：高架地板或地板以上1.5m处。
4. 将测试结果记录于表格。
C、验收标准：各区域测试值皆需符合CleanroomRequirement，具体见图纸。
六、噪音测试 (Sound Pressure Level Test)
A、测试仪器：噪音计。
B、测试步骤：
1. 测试点布置: 所有洁净室每40m2测一点，每一独立房间量测一点 。
2.测试条件：启动洁净室所有空调设备，但其它设备均为停止状态。
3.量测高度为：高架地板上1.5m之处，离墙最少3m。
4. 将测试结果记录于表格。
七、压差测试 (Room Pressurization Test)
A、测试仪器：压差计。
B、测试步骤：
1.测试条件：必须在各区域、房间之间的密封全部完成，风速、风量、气流等与气流直接相关的测试完成后，才能测试压力，并且排气与MAU要完全正常运转。
2. 测试点布置：每一独立房间与相邻房间测试1点。
3.测试时洁净室内所有门均为关闭状态。
4.利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量。测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再量测房间与Gowning room之间压差，最后量测Gowning room与外部之压差。
C、验收标准：
每一测量点之值需在5 Pa以上
无尘室对非无尘室须在10 Pa以上